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								0551-65385002
							

							
								
								合肥市蜀山區(qū)仰橋路87號3棟1樓
							

						
      
					
      
				
      
			
      

				
		
      


		
		
      
					
			
				合肥合瑞達光電材料有限公司-LOGO
			
			

			
			
      
				
					
				
			
      
				
		
      


		
		
	
      
		
      
			
      
				
      
					
      
						
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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
       Home / 晶體產(chǎn)品 / 外延薄膜 /  / SiO2/Si						
							
                      
      
                            
      
                            
      
						
      
                        
                        
                                                    
      SiO2/Si
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
      主要性能參數(shù)
      晶體結(jié)構(gòu)
      面心立方
      熔點（℃）
      1420
      密度
      2.4（g/cm3）
      類 型
      N或P
      N
      P
      摻雜
      /
      P(磷)
      B(硼)
      膜厚
      300~ 500nm
      電 阻 率
      >1000Ωcm
      10-3~104Ωcm
      10-3~104Ωcm
      E P D
      ≤100∕cm2
      ≤100∕cm2
      ≤100∕cm2
      氧含量（∕cm3）
      ≤1~1.8×1018
      ≤1~1.8×1018
      ≤1~1.8×1018
      碳含量（∕cm3）
      ≤5×1016
      ≤5×1016
      ≤5×1016
      尺寸
      10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm
      可按照客戶需求，定制特殊方向和尺寸的基片
      厚度
      0.3-0.5mm、1.0mm
      尺寸公差
      <±0.1mm
      厚度公差
      <±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm）
      拋光
      單面或雙面
      晶面定向精度
      ±0.5°
      邊緣定向精度
      2°（特殊要求可達到1°以內(nèi)）
      取向
      <100>、<110>、<111>等
      包裝
      100級潔凈袋，1000級超凈室
       
       
       
       
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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