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      陶瓷基片
      
								
      
									
								
      

								
                                     氮化硅(Si3N4)陶瓷
          氮化硅陶瓷是一種燒結時不收縮的無機材料。它是用硅粉作原料，先用通常成型的方法做成所需的形狀，在氮氣中及１２００℃的高溫下進行初步氮化，使其中一部分硅粉與氮反應生成氮化硅，然后在１３５０℃～１４５０℃的高溫爐中進行第二次氮化，反應成氮化硅。用熱壓燒結法可制得達到理論密度９９％的氮化硅。 
      分子式
      Si3N4
      相對分子質量
      140.28
      顏色
      灰色、灰黑色
      晶系
      六方晶系。晶體呈六面體
      陶瓷片制備方法
      熱壓法
      相對密度
      99.5%
      密度
      3.2+/-0.02 g/cm3
      莫氏硬度
      9~9.5
      熔點
      1900℃（加壓下）。通常在常壓下1900℃分解
      熱膨脹系數
      2.8~3.2×10-6/℃(20~1000℃)
      比熱容
      0.71J/(g·K)
      熱導率
      15~ 20W/(m·K)
      彈性模量
      300~320 GPa
      斷裂韌性
      6.0~7.0 MPa.m
      抗彎強度
      650~750 Mpa
      韋泊模數
      10~12
      溶解度
      不溶于水。溶于氫氟酸。
      氧化溫度
      在空氣中開始氧化的溫度1300~1400℃
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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