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      功能晶體

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      二氧化硅(SiO2)

      功能晶體

      主要性能參數
      生長方法
      水熱法
      晶體結構
      六方
      晶格常數
      a=4.914Å    c=5.405 Å
      熔點(℃)
      1610℃(相轉變點:573.1℃)
      密度
      2.684g/cm3
      硬度
      7(mohs)
      熱熔
      0.18cal/gm
      熱導率
      0.0033cal/cm℃
      熱電常數
      1200uv/℃(300℃)
      折射率
      1.544
      熱膨脹系數
      α11:13.71×106/ ℃ α33:7.48×106 /℃
      Q值
      1.8×106 min
      聲速、聲表級
      3160(m/sec)
      頻率常數
      1661(kHz/mm)
      壓電偶合
      K2(%) BAW: 0.65 SAW: 0.14
      晶向
      Y、X或Z切,在30º~42.75 º ±5分范圍內旋轉任意值
      主定位邊:根據客戶要求定方向±30分
      次定位邊:根據客戶要求定方向
      籽 晶:位于中心,寬度<5mm,高度>66mm
      拋光面
      外延拋光:單拋或雙拋Ra<10Å
      工作區域:基片直徑-3mm
      彎 曲 度:Φ3″<20um,Φ4″<30um
      工作區域無崩邊,在邊緣,崩邊寬度<0.5mm
      坑和劃痕:每片<3,每100片<20
      標準厚度
      0.5mm±0.05mm TTV<5um
      標準直徑
      Φ2″(50.8mm)、Φ3″(76.2mm)、Φ4″(100mm)±0.2mm
      主定位邊:22±1.5mm (Φ3″) 32±3.0 (Φ4″)
      次定位邊:10mm±1.5mm

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