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濺射靶材

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合金靶材

濺射靶材

材料
純度
最大尺寸
制備方法
Al-Cu
4N~5N
1000×300mm
熔煉
Al-Ti
4N
1000×300mm
熔煉
Al-Mg
4N
1000×300mm
熔煉
Ag-Cu
4N
1000×300mm
熔煉
Co-Cr
3N
400×300mm
熔煉
Co-Ni
3N
400×300mm
熔煉
Co-Fe
3N
400×300mm
熔煉
Co-Fe-B
3N
400×300mm
特殊燒結
Co-Fe-Cu
3N
400×300mm
熔煉
Cr-Si
3N
400×300mm
特殊燒結
Cu-Mn
3N~3N5
Dia4″
特殊燒結
Cu-Mn
3N~3N5
400×300mm
熔煉
Cu-Al
3N~4N
400×300mm
熔煉
Fe-Mn
2N5
400×300mm
熔煉
Fe-Ni
2N5~3N5
400×300mm
熔煉
FeCoBSi
2N5
Dia4″
特殊燒結

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