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      濺射靶材
      
								
      
									
								
      

								
      

      


      


      材料
      		


      純度
      		


      最大尺寸
      		


      制備方法
      

      


      Al-Cu
      		


      4N~5N
      		


      1000×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Al-Ti
      		


      4N
      		


      1000×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Al-Mg
      		


      4N
      		


      1000×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Ag-Cu
      		


      4N
      		


      1000×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Co-Cr
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Co-Ni
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Co-Fe
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Co-Fe-B
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      特殊燒結(jié)
      

      


      Co-Fe-Cu
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Cr-Si
      		


      3N
      		


      400×300mm
      		


      特殊燒結(jié)
      

      


      Cu-Mn
      		


      3N~3N5
      		


      Dia4″
      		


      特殊燒結(jié)
      

      


      Cu-Mn
      		


      3N~3N5
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Cu-Al
      		


      3N~4N
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Fe-Mn
      		


      2N5
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      Fe-Ni
      		


      2N5~3N5
      		


      400×300mm
      		


      熔煉
      

      


      FeCoBSi
      		


      2N5
      		


      Dia4″
      		


      特殊燒結(jié)
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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