主要性能參數(shù)
晶體結構
面心立方
熔點（℃）
1420
密度
2.4（g/cm3）
導電類型/摻雜物質
I型非摻
P摻B
N摻P
電 阻 率
>1000Ωcm
10-3~104Ωcm
E P D
≤100∕cm2
氧含量（∕cm3）
≤1~1.8×1018
碳含量（∕cm3）
≤5×1016
尺寸
10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm
可按照客戶需求，定制特殊方向和尺寸的基片
厚度
0.3-0.5mm、1.0mm
尺寸公差
<±0.1mm
厚度公差
<±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm）
拋光
單面或雙面
晶面定向精度
±0.5°
