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      功能晶體

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      碳化硅(SiC)

      功能晶體

      主要性能參數
      生長方法
      MOCVD
      晶體結構
      六方
      晶格常數
      a=3.07 Å     c=15.117 Å 
      排列次序
      ABCACB
      方向
      生長軸或 偏<0001> 3.5 º
      帶隙
      3.02 eV (間接)
      硬度
      9.2(mohs)
      密度
      3.21g/cm3
      折射率
      no=2.55   ne=2.59
      熱傳導@300K
      3 - 5 x 106W/ m
      介電常數
      e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33
      尺寸
      10x10mm,15x15mm, 20x20mm,Dia50.8mm,Dia76.2mm,Dia102.4mm
      厚度
      厚度:0.35mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <001>±0.5º
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達1°以內)
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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