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      薄膜襯底

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      鍺(Ge)

      薄膜襯底

      主要性能參數
      生長方法
      提拉法
      晶體結構
      立方
      晶格常數
      a=5.65754 Å       
      密 度
      5.323g/cm3
      熔點
      937.4℃
      摻雜物質
      不摻雜
      摻Sb
      摻In或Ga
      類型
      /
      N
      P
      電阻率
      >35Ωcm
      0.05Ωcm
      0.05~0.1Ωcm
      EPD
      <4×103∕cm2
      <4×103∕cm2
      <4×103∕cm2
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <100>、<110>、<111>、±0.5&ordm;
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達1°以內)
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5&Aring;(5&micro;m×5&micro;m)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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