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薄膜襯底

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鈦酸鍶(SrTiO3)

薄膜襯底

主要性能參數(shù)

晶體結(jié)構(gòu)

立方

生長(zhǎng)方法

火焰法

晶格常數(shù)

a=3.905Å

熔點(diǎn)(℃)

2080

密度

5.175(g/cm3

硬度

6(mohs)

熱膨脹系數(shù)(/℃)

9.4×10-6

介電常數(shù)

300

化學(xué)穩(wěn)定性

在水中不溶解

正切損耗

~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)

顏色及外觀

透明(根據(jù)退火狀態(tài)有時(shí)有輕微的棕色)無(wú)鸞晶

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客戶(hù)需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

拋光

單面或雙面

晶面定向精度

±0.5°

邊緣定向精度

2°(特殊要求可達(dá)到1°以?xún)?nèi))

取向

<100>、<110>、<111>等

包裝

100級(jí)潔凈袋,1000級(jí)超凈室

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