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      薄膜襯底

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      藍寶石(Al2O3)

      薄膜襯底

      主要性能參數
      晶系
      六方晶系
      晶胞常數
      a=4.748Å  c=12.97Å
      密度
      3.98(g/cm3)
      熔點
      2040℃
      莫氏硬度
      9
      熱膨脹系數
      7.5  (x10-6/ oC)
      熱導率(卡/度 厘米 秒)
       
      ⊥c
      //c
      23℃
      0.055
      26℃ 0.060
      77℃
      0.040
      70℃ 0.041
      介電常數
      ~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
      晶向
      A-plane
      <11-20>
      2.379A
      R-plane
      <1-102>
      1.740A
      M-plane
      <10-10>
      1.375A
      C-plane
      <0001>
      2.165A
      晶向公差
      ±0.5°
      常規尺寸及公差
      10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
      常規厚度及公差
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      表面粗糙度
      Ra<5Å(5×5μm)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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