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薄膜襯底

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藍寶石（Al2O3）

薄膜襯底

主要性能參數
晶系	六方晶系
晶胞常數	a=4.748Å c=12.97Å
密度	3.98（g/cm3）
熔點	2040℃
莫氏硬度	9
熱膨脹系數	7.5 (x10-6/ oC)
熱導率（卡/度厘米秒）		⊥c	//c
	23℃	0.055	26℃ 0.060
	77℃	0.040	70℃ 0.041
介電常數	~ 9.4 @300K at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
晶向	A-plane	<11-20>	2.379A
	R-plane	<1-102>	1.740A
	M-plane	<10-10>	1.375A
	C-plane	<0001>	2.165A
晶向公差	±0.5°
常規尺寸及公差	10×3,10×5，10×10,15×15，20×15，20×20，
常規厚度及公差	0.5mm，1.0mm
拋光	單面或雙面
表面粗糙度	Ra<5Å（5×5μm）
包裝	100級潔凈袋，1000級超凈室

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