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薄膜襯底

Home / 晶體產品 / 薄膜襯底 / 磁性與鐵電薄膜基片 / 鋁酸鑭（LaAlO3）

鋁酸鑭（LaAlO3）

薄膜襯底

主要性能參數
晶系	六方（常溫）	立方（>435℃）
晶格常數	六方a=5.357A c=13.22 A	立方a=3.821 A
熔點（℃）	2080
密度	6.52（g/cm³）
硬度	6-6.5（mohs）
熱膨脹系數	9.4x10^-6/℃
介電常數	ε=21
損耗正切（10ghz)	～3×10^-4@300k,～0.6×10^-4@77k
顏色及外觀	依退火狀況而不同，由棕黃色到褐色拋光基片有自然孿晶疇
化學穩定性	室溫下不溶于礦物酸，溫度大于150℃時可溶于h₃po₄
特點	適于微波電子器件
生長方法	提拉法
尺寸	10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
	Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″
厚度	0.5mm，1.0mm
拋光	單面或雙面
晶向	＜100＞＜110＞＜111＞
晶面定向精度:	±0.5°
邊緣定向精度:	2°（特殊要求可達1°以內）
斜切晶片	可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片
Ra:	≤5Å（5µm×5µm）
包裝	100級潔凈袋，1000級超凈室

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