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      薄膜襯底

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      氧化鎂(MgO)

      薄膜襯底

      主要性能參數
      生長方法
      弧熔法
      晶體結構
      立方
      晶格常數
      a=4.130 Å 
      熔點(℃)
      2800
      純度
      99.95%
      密度(g/cm3
      3.58
      硬度
      5.5(mohs)
      熱膨脹系數(/℃)
      11.2x10-6
      晶體解理面
      <100>
      光學透過
      >90%(200~400nm),>98%(500~1000nm)
      介電常數
      ε= 9.65
      熱導率(卡/度 厘米 秒)
      0.14  300°K
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <001>±0.5º
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達1°以內)
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      主要特點
       由于MgO單晶在微波波段的介電常數和損耗都很小,且能得到大面積的基片(直徑2英吋及更大),所以是當前產業化的重要高溫超導薄膜單晶基片之一。
      主要用途
      用于制作磁學薄膜、半導體薄膜、光學薄膜和高溫超導薄膜等,也可用于制作移動通訊設備所需的高溫超導微波濾波器等器件。
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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