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薄膜襯底

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氧化鎂(MgO)

薄膜襯底

主要性能參數
生長方法
弧熔法
晶體結構
立方
晶格常數
a=4.130 Å 
熔點(℃)
2800
純度
99.95%
密度(g/cm3
3.58
硬度
5.5(mohs)
熱膨脹系數(/℃)
11.2x10-6
晶體解理面
<100>
光學透過
>90%(200~400nm),>98%(500~1000nm)
介電常數
ε= 9.65
熱導率(卡/度 厘米 秒)
0.14  300°K
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
厚度
0.5mm,1.0mm
拋光
單面或雙面
晶向
<001>±0.5º
晶面定向精度:
±0.5°
邊緣定向精度:
2°(特殊要求可達1°以內)
斜切晶片
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
主要特點
 由于MgO單晶在微波波段的介電常數和損耗都很小,且能得到大面積的基片(直徑2英吋及更大),所以是當前產業化的重要高溫超導薄膜單晶基片之一。
主要用途
用于制作磁學薄膜、半導體薄膜、光學薄膜和高溫超導薄膜等,也可用于制作移動通訊設備所需的高溫超導微波濾波器等器件。
包裝
100級潔凈袋,1000級超凈室

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