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      薄膜襯底
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
       Home / 晶體產品 / 薄膜襯底 / GaN 薄膜基片 / 氮化鎵（GaN）						
							
                      
      
                            
      
                            
      
						
      
                        
                        
                                                    
      氮化鎵（GaN）
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      薄膜襯底
      
								
      
									
								
      

								
      

      


      


      產品型號Item
      		


      GaN-FS-10
      		


      GaN-FS-15
      

      


      尺寸Dimensions
      		


      10.0mm×10.5mm
      		


      14.0mm×15.0mm
      

      


      孔洞密度Marco Defect Density
      		


      A Level
      		


      0 cm-2
      

      


      B Level
      		


      ≤ 2 cm-2
      

      


      厚度Thickness
      		


      Rank 300
      		


      300 ± 25 µm
      

      


      Rank 350
      		


      350 ± 25 µm
      

      


      Rank 400
      		


      400 ± 25 µm
      

      


      晶體取向Orientation
      		


      C-axis(0001) ± 0.5°
      

      


      TTV(Total Thickness Variation)
      		


      ≤15 µm
      

      


      彎曲度BOW
      		


      ≤20 µm
      

      


      導電類型Conduction Type
      		


      N-type
      		


      Semi-Insulating
      

      


      電阻率Resistivity(300K)
      		


      < 0.5 Ω·cm
      		


      >106 Ω·cm
      

      


      位錯密度Dislocation Density
      		


      Less than 5x106 cm-2
      

      


      有效面積Useable Surface Area
      		


      > 90%
      

      


      拋光Polishing
      		


      Front Surface: Ra < 0.2nm. Epi-ready polished
      

      Back Surface: Fine ground
      

      


      包裝Package
      		


      Packaged in a class 100 clean room environment, in single wafer containers, under a nitrogen atmosphere.
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
                        
                        
					
      	
				
      

				
			
      
		
      
	
      
	
	

    
    	
	
      
		
			
		
	
      

	
	

	

	

	
	

	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

	
	

	




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