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							晶體產品 / 薄膜襯底 / GaN 薄膜基片 
						
					
      

					
      薄膜襯底
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
       Home / 晶體產品 / 薄膜襯底 / GaN 薄膜基片 / SiC單晶 (6H-SiC,4H-SiC )						
							
                      
      
                            
      
                            
      
						
      
                        
                        
                                                    
      SiC單晶 (6H-SiC,4H-SiC )
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      薄膜襯底
      
								
      
									
								
      

								
      

      


      


      主要性能參數
      

      


      生長方法
      		


      籽晶升華法 ,PVT（物理氣相傳輸）
      

      


      晶體結構
      		


      六方
      

      


      晶格常數
      		


      a=3.08 Å     c=15.08 Å  
      

      


      密度
      		


      3.21 g/cm3
      

      


      方向
      		


      生長軸或 偏<0001> 3.5 º
      

      


      帶隙
      		


      3.26 eV (間接)
      

      


      硬度
      		


      9.2（mohs）
      

      


      熱傳導@300K
      		


      5 W/ cm.k
      

      


      介電常數
      		


      e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33
      

      


      尺寸
      		


      10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
      

      


      Dia2",Di3",Dia4"
      

      


      厚度
      		


      0.35mm，
      

      


      拋光
      		


      單面或雙面
      

      


      晶向
      		


      <0001>±0.5º
      

      


      晶面定向精度:
      		


      ±0.5°
      

      


      邊緣定向精度:
      		


      2°（特殊要求可達1°以內）
      

      


      斜切晶片
      		


      可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片
      

      


      Ra:
      		


      ≤5Å（5µm×5µm）
      

      


      包裝
      		


      100級潔凈袋，1000級超凈室
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
                        
                        
					
      	
				
      

				
			
      
		
      
	
      
	
	

    
    	
	
      
		
			
		
	
      

	
	

	

	

	
	

	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

	
	

	




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