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      薄膜襯底

      Home / 晶體產(chǎn)品 / 薄膜襯底 / GaN 薄膜基片 / SiC單晶 (6H-SiC,4H-SiC )
      SiC單晶 (6H-SiC,4H-SiC )

      薄膜襯底

      主要性能參數(shù)
      生長方法
      籽晶升華法 ,PVT(物理氣相傳輸)
      晶體結(jié)構(gòu)
      六方
      晶格常數(shù)
      a=3.08 Å     c=15.08 Å 
      密度
      3.21 g/cm3
      方向
      生長軸或 偏<0001> 3.5 º
      帶隙
      3.26 eV (間接)
      硬度
      9.2(mohs)
      熱傳導(dǎo)@300K
      5 W/ cm.k
      介電常數(shù)
      e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      Dia2",Di3",Dia4"
      厚度
      0.35mm,
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <0001>±0.5º
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi))
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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