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      薄膜襯底

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      氧化鎂(MgO)

      薄膜襯底

       

      主要性能參數(shù)

      生長方法

      弧熔法

      晶體結(jié)構(gòu)

      立方

      晶格常數(shù)

      a=4.130 Å 

      熔點(diǎn)(

      2800

      純度

      99.95%

      密度(g/cm3

      3.58

      硬度

      5.5mohs

      熱膨脹系數(shù)(/

      11.2x10-6

      晶體解理面

      <100>

      光學(xué)透過

      >90%200~400nm),>98%500~1000nm

      介電常數(shù)

      ε= 9.65

      熱導(dǎo)率(卡/度 厘米 秒)

      0.14  300°K

      尺寸

      10x310x510x1015x15,,20x1520x20

      dia2”x0.33mmdia2”x0.43mm15 x15 mm

      厚度

      0.5mm1.0mm

      拋光

      單面或雙面

      晶向

      <001>±0.5&ordm;

      晶面定向精度:

      ±0.5°

      邊緣定向精度:

      (特殊要求可達(dá)以內(nèi))

      斜切晶片

      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角45°)的晶片

      Ra:

      ≤5&Aring;5&micro;m×5&micro;m

      主要特點(diǎn)

       由于MgO<SP

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