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      薄膜襯底

      Home / 晶體產(chǎn)品 / 薄膜襯底 / GaN 薄膜基片 / 鋁酸鋰晶體(LiAlO2)
      鋁酸鋰晶體(LiAlO2)

      薄膜襯底

      主要性能參數(shù)
      晶體結(jié)構(gòu)
      四方
      晶格常數(shù)
      a=5.17 A    c=6.26 A
      熔點(diǎn)(℃)
      1900
      密度
      2.62(g/cm3
      硬度
      7.5(mohs)
      與GaN失配率<001>
      1.4%
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <100>  <001>
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi))
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級(jí)潔凈袋,1000級(jí)超凈室

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