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      外延薄膜

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      GaP

      外延薄膜

      Major capability parameter
      single crystal
      Doped
      conduction type
      concentration of flows cm-3
      Density
      cm-2
      Growth method
      Max size
      Substrate
      GaP
      S
      Undoped
      N
      N
      2~8×1017
      2~6×1016
      <105
      LEC
      Dia50
      2″×0.5
       
      Size(mm)
      25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
      Special size and orientation are available upon request
      Surface rough
      Surface roughness(Ra):<=5A
      Polishing
      Single or double
      Pack
      100 clean bag,1000 exactly clean bag

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