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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
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      GaAS
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
      


      


      Major capability parameter
      

      


      single crystal
      		


      Doped
      		


      conduction type
      		


      concentration of flows cm-3
      		


      Density
      

      cm-2
      		


      Growth method
      

      Max size
      		


      Substrate
      

      


      GaAs
      		


      None
      		


      Si
      		


      /
      		


      <5×105
      		


      LEC
      

      HB
      

      Dia3″
      		


      Dia3″×0.5
      

      Dia2″×0.5
      

      


      Si
      		


      N
      		


      >5×1017
      

      


      Cr
      		


      Si
      		


      /
      

      


      Fe
      		


      N
      		


      ~2×1018
      

      


      Zn
      		


      P
      		


      >5×1017
      

      


      Size（mm）
      		


      25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
      

      Special size and orientation are available upon request
      

      


      Surface rough
      		


      Surface roughness(Ra):<=5A
      

      


      Polishing
      		


      Single or double
      

      


      Pack
      		


      100 clean bag，1000 exactly clean bag
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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