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      外延薄膜

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      GaAS

      外延薄膜

      Major capability parameter
      single crystal
      Doped
      conduction type
      concentration of flows cm-3
      Density
      cm-2
      Growth method
      Max size
      Substrate
      GaAs
      None
      Si
      /
      <5×105
      LEC
      HB
      Dia3″
      Dia3″×0.5
      Dia2″×0.5
      Si
      N
      >5×1017
      Cr
      Si
      /
      Fe
      N
      ~2×1018
      Zn
      P
      >5×1017
      Size(mm)
      25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
      Special size and orientation are available upon request
      Surface rough
      Surface roughness(Ra):<=5A
      Polishing
      Single or double
      Pack
      100 clean bag,1000 exactly clean bag

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