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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
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      ZnO
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
      


      


      Major capability parameter
      

      


      Crystal structure
      		


      M6
      

      


      Unit cell constant
      		


      a=3.252Å    c=5.313 Å
      

      


      Density
      		


      5.7（g/cm3）
      

      


      Hardness
      		


      4（mohs）
      

      


      Melt point
      		


      1975℃
      

      


      Thermal expansion
      		


      6.5 x 10-6 /℃//a     3.7 x 10-6 /℃//c
      

      


      Planned constant
      		


      1200 mv/k @ 300 ℃
      

      


      Thermal conductivity
      		


      0.006 cal/cm/k
      

      


      Through scope
      		


      0.4-0.6 um > 50% at 2mm
      

      


      Crystal orientation
      		


      <0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º
      

      


      Size（mm）
      		


      25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
      

      special size and orientation are available upon request
      

      


      Surface rough
      		


      Surface roughness(Ra):<=5A
      

      


      Polishing
      		


      Single or double
      

      


      Pack
      		


      100 clean bag，1000 exactly clean bag
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
                        
                        
					
      	
				
      

				
			
      
		
      
	
      
	
	

    
    	
	
      
		
			
		
	
      

	
	

	

	

	
	

	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

	
	

	




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