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      外延薄膜

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      Ge

      外延薄膜

      Major capability parameter
      Growth method
      Czochralski method
      Crystal structure
      M3
      Unit cell constant
      a=5.65754 Å       
      Density
      5.323g/cm3
      Melt point
      937.4℃
      Doped material
      No doped
      Sb-doped
      In / Ga –doped
      Type
      /
      N
      P
      Resistivity
      >35Ωcm
      0.05Ωcm
      0.05~0.1Ωcm
      EPD
      <4×103∕cm2
      <4×103∕cm2
      <4×103∕cm2
      Size
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
      Thickness
      0.5mm,1.0mm
      Polishing
      Single or double
      Crystal orientation
      <100>、<110>、<111>、±0.5º
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      Pack
      100 clean bag,1000 exactly clean bag

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