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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
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      Si
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
      


      


      Major capability parameter
      

      


      Crystal Structure
      		


      M3
      

      


      Melt point（℃）
      		


      1420
      

      


      Density
      		


      2.4（g/cm3）
      

      


      Doped material
      		


       No doped
      

      


      Type
      		


      P
      

      


      Resistivity
      		


      10-3~40Ωcm
      

      


      E P D
      		


      ≤100∕cm2
      

      


      O Content（∕cm3）
      		


      ≤1~1.8×1018
      

      


      C Content（∕cm3）
      		


      ≤5×1016
      

      


      Size
      		


      10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm
      

      Special size and orientation are available upon request
      

      


      Thickness
      		


      0.5mm、1.0mm
      

      


      Size Tolerances
      		


      <±0.1mm
      

      


      Thickness Tolerances
      		


      <±0.015mmspecial in<±0.005mm）
      

      


      Polishing
      		


      Single or double
      

      


      redirection precision
      		


      ±0.5°
      

      


      Redirection the edge:
      		


      2°（special in 1°）
      

      


      Crystal orientation
      		


      <100>、<110>、<111>
      

      


      Pack
      		


      100 clean bag，1000 exactly clean bag
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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