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      薄膜襯底

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      鋁酸鍶鉭鑭(La,Sr)(Al,Ta)O3 LSAT

      薄膜襯底

      主要性能參數(shù)

      生長(zhǎng)方法

      提拉法

      晶體結(jié)構(gòu)

      立方

      晶格常數(shù)

      a=3.868 A    

      熔點(diǎn)(℃)

      1840

      密度

      6.74(g/cm3

      硬度

      6.5(mohs)

      介電常數(shù)

      22

      熱膨脹系數(shù)

      10 x 10-6 

      顏色及外觀

      根據(jù)退火情況由無(wú)色到淺棕色,無(wú)鸞晶和可見(jiàn)疇

      尺寸

      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

      Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″

      厚度

      0.5mm,1.0mm

      拋光

      單面或雙面

      晶向

      <100>、<110>、<111>±0.5&ordm;

      Ra:

      ≤5&Aring;(5&micro;m×5&micro;m)

      包裝

      100級(jí)潔凈袋,1000級(jí)超凈室

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