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      薄膜襯底
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
       Home / 晶體產品 / 薄膜襯底 / 高溫超導薄膜基片 / 鋁酸鑭（LaAlO3）						
							
                      
      
                            
      
                            
      
						
      
                        
                        
                                                    
      鋁酸鑭（LaAlO3）
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      薄膜襯底
      
								
      
									
								
      

								
      

      


      


      主要性能參數
      

      


      晶系
      		


      六方（常溫）
      		


      立方（>435℃）
      

      


      晶格常數
      		


      六方a=5.357A   c=13.22 A
      		


      立方a=3.821 A
      

      


      熔點（℃）
      		


      2080
      

      


      密度
      		


      6.52（g/cm3）
      

      


      硬度
      		


      6-6.5（mohs）
      

      


      熱膨脹系數
      		


      9.4x10-6/℃
      

      


      介電常數
      		


      ε=21
      

      


      損耗正切（10ghz)
      		


      ～3×10-4@300k,～0.6×10-4@77k
      

      


      顏色及外觀
      		


      依退火狀況而不同，由棕黃色到褐色
      拋光基片有自然孿晶疇
      

      


      化學穩(wěn)定性
      		


      室溫下不溶于礦物酸，溫度大于150℃時可溶于h3po4
      

      


      特點
      		


      適于微波電子器件
      

      


      生長方法
      		


      提拉法
      

      


      尺寸
      		


      10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
      

      


      Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″
      

      


      厚度
      		


      0.5mm，1.0mm
      

      


      拋光
      		


      單面或雙面
      

      


      晶向
      		


      ＜100＞  ＜110＞  ＜111＞
      

      


      晶面定向精度:
      		


      ±0.5°
      

      


      邊緣定向精度:
      		


      2°（特殊要求可達1°以內）
      

      


      斜切晶片
      		


      可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片
      

      


      Ra:
      		


      ≤5Å（5µm×5µm）
      

      


      包裝
      		


      100級潔凈袋，1000級超凈室
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
                        
                        
					
      	
				
      

				
			
      
		
      
	
      
	
	

    
    	
	
      
		
			
		
	
      

	
	

	

	

	
	

	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

	
	

	




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