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      薄膜襯底

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      摻釔氧化鋯(YSZ)

      薄膜襯底

      主要性能參數
      晶體結構
      立方
      晶格常數
      a=5.147 Å 
      熔點(℃)
      2700
      密度(g/cm3
      6.0
      硬度
      8-8.5(mohs)
      純度
      99.99%
      熱膨脹系數(/℃)
      10.3×10-6
      介電常數
      ε=27
      生長方法
      弧熔法
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <001>±0.5º
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達1°以內)
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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