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      薄膜襯底

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      鈦酸鍶(SrTiO3)

      薄膜襯底

      主要性能參數

      晶體結構

      立方

      生長方法

      火焰法

      晶格常數

      a=3.905Å

      熔點(℃)

      2080

      密度

      5.175(g/cm3

      硬度

      6(mohs)

      熱膨脹系數(/℃)

      9.4×10-6

      介電常數

      300

      化學穩定性

      在水中不溶解

      正切損耗

      ~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)

      顏色及外觀

      透明(根據退火狀態有時有輕微的棕色)無鸞晶

      尺寸

      10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

      可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片

      厚度

      0.5mm、1.0mm

      拋光

      單面或雙面

      晶面定向精度

      ±0.5°

      邊緣定向精度

      2°(特殊要求可達到1°以內)

      取向

      <100>、<110>、<111>等

      包裝

      100級潔凈袋,1000級超凈室

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