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      薄膜襯底

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      鎵酸釹(NdGaO3)晶體

      薄膜襯底

      主要性能參數
      晶體結構
      正交
      晶胞參數Å
      a=5.43、b=5.50、c=7.71
      熔點
      1600℃
      密度
      7.57g/cm3
      介電常數
      25
      生長方法
      提拉法
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <100>  <110>  <111>
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達1°以內)
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

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